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EUV露光対応フォトマスク…大日印、微細パターン解像に成功
EUV露光対応フォトマスク…大日印、微細パターン解像に成功
# ＥＵＶ露光
「想定よりも底が深かった」…ニコンの通期見通し、営業益を下方修正
「想定よりも底が深かった」…ニコンの通期見通し、営業益を下方修正
# ニコン
「半導体の教育と研究の地盤が整った」…“生産集積地”で実施、九州大学の改革とこれから
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# 半導体
光電子顕微鏡で1万倍高速化…東大、半導体を現像前に検査できる手法
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# 半導体
EUVより低コストで微細化…キヤノンが半導体装置巻き返し、ナノインプリントで再参入の勝算
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# キヤノン
インテルと協力…産総研がEUV技術拠点を整備する狙い
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# 産業技術総合研究所
車載半導体向け需要狙うニコン、露光装置で攻勢かける
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# ニコン
EUV露光回路補正…東京エレクトロン、「ガスクラスタービーム装置」投入
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# 東京エレクトロン
「EUV露光」導入・保守に1.5倍600人、蘭ASMLが日本増員に動く狙い
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# ＡＳＭＬ
半導体微細化に貢献…リンテック、EUVペリクル量産へ
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# リンテック
金属不使用で不純物少なく…住友化学が次世代EUV露光向け新レジスト
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# 住友化学
次世代露光装置用「CNTペリクル」、三井化学が量産
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# 三井化学
半導体フォトレジスト材料、三菱ケミカルグループが増産
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# 三菱ケミカルグループ
世界シェアで減少傾向…ニッポン半導体装置、反転のキーワードは?
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# 半導体製造装置メーカー
チューリヒ工科大が参画…JAXA主導の太陽観測プロジェクトとは?
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# チューリヒ工科大学
信越化学が830億円投資、半導体露光材生産で新拠点
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# 信越化学工業
DNPが量産へ…2ナノメートル世代のフォトマスク製造プロセス開発
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# 大日本印刷
次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは?
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# 大阪大学
2ナノEUVマスクを共同開発、トッパンフォトと米IBMが融合する知見
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# トッパンフォトマスク
半導体産業への異次元支援策から2年、出始めた成果と今後の焦点
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# 半導体
耐熱性2倍…リンテックがCNTでフォトマスク用防塵カバー開発
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# リンテック
“次世代EUVペリクル”25年にも実用化、三井化学が半導体微細化に対応
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# ペリクル
高輝度EUVで欠陥検出、レーザーテックがマスク検査装置を受注開始
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# レーザーテック
ラピダスの調達視野…TOPPAN・大日印、半導体向けフォトマスク微細化加速
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# ラピダス
ラピダスがEUV露光装置導入…技術者300人年内確保、米IBMなどに派遣
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# ラピダス
半導体製造向け異物検査装置を増産、堀場製作所が本社工場拡張
半導体製造向け異物検査装置を増産、堀場製作所が本社工場拡張
# 堀場製作所
「半導体製造用特殊ガス」ラピダスに供給、大陽日酸が北海道・苫小牧に物流拠点
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# 大陽日酸
キヤノンが世界初の実用化、「ナノインプリント」技術を活用した半導体露光措置の全容
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# ナノインプリント
半導体マスク欠陥を高感度検出、レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発
半導体マスク欠陥を高感度検出、レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発
# レーザーテック

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