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高輝度EUVで欠陥検出、レーザーテックがマスク検査装置を受注開始
# レーザーテック
半導体マスク欠陥を高感度検出、レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発
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半導体ウエハー端部の欠陥見逃さない、レーザーテックが発売したAI活用装置の性能
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【初心者向け】知っておいて損はない、半導体製造の基礎知識
# 業界基礎知識
半導体ウエハーを15分で全面検査する装置。レーザーテックが製品化
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ペリクルって一体なに?半導体回路の微細化に欠かせない「EUV露光」技術
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インテルが起死回生の2兆円の大型投資。バイデン政権の後押しでTSMCを追撃
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半導体のEUV露光で高まる日本メーカーの存在感、普及はどこまで進む?
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