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耐熱性2倍…リンテックがCNTでフォトマスク用防塵カバー開発
# リンテック
“次世代EUVペリクル”25年にも実用化、三井化学が半導体微細化に対応
# ペリクル
半導体製造向け異物検査装置を増産、堀場製作所が本社工場拡張
# 堀場製作所
半導体マスク欠陥を高感度検出、レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発
# レーザーテック
世界トップの総合ペリクルメーカーへ、三井化学が半導体市場の需要獲得に注力
# 三井化学
「次世代高容量電池」対応など狙う…三井化学が半導体・電池材で次世代車需要開拓
# 三井化学
【キーワード・30秒解説】EUV露光装置
# ＡＳＭＬ
ペリクルって一体なに?半導体回路の微細化に欠かせない「EUV露光」技術
# 半導体
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