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ＥＵＶ露光のニュース一覧

EUV露光対応フォトマスク…大日印、微細パターン解像に成功
EUV露光対応フォトマスク…大日印、微細パターン解像に成功
# ＥＵＶ露光
EUVより低コストで微細化…キヤノンが半導体装置巻き返し、ナノインプリントで再参入の勝算
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# キヤノン
インテルと協力…産総研がEUV技術拠点を整備する狙い
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# 産業技術総合研究所
車載半導体向け需要狙うニコン、露光装置で攻勢かける
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# ニコン
EUV露光回路補正…東京エレクトロン、「ガスクラスタービーム装置」投入
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# 東京エレクトロン
「EUV露光」導入・保守に1.5倍600人、蘭ASMLが日本増員に動く狙い
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# ＡＳＭＬ
半導体微細化に貢献…リンテック、EUVペリクル量産へ
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# リンテック
金属不使用で不純物少なく…住友化学が次世代EUV露光向け新レジスト
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# 住友化学
次世代露光装置用「CNTペリクル」、三井化学が量産
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# 三井化学
世界シェアで減少傾向…ニッポン半導体装置、反転のキーワードは?
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# 半導体製造装置メーカー
DNPが量産へ…2ナノメートル世代のフォトマスク製造プロセス開発
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# 大日本印刷
次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは?
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# 大阪大学
耐熱性2倍…リンテックがCNTでフォトマスク用防塵カバー開発
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# リンテック
“次世代EUVペリクル”25年にも実用化、三井化学が半導体微細化に対応
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# ペリクル
高輝度EUVで欠陥検出、レーザーテックがマスク検査装置を受注開始
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# レーザーテック
ラピダスの調達視野…TOPPAN・大日印、半導体向けフォトマスク微細化加速
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# ラピダス
ラピダスがEUV露光装置導入…技術者300人年内確保、米IBMなどに派遣
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# ラピダス
「半導体製造用特殊ガス」ラピダスに供給、大陽日酸が北海道・苫小牧に物流拠点
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# 大陽日酸
キヤノンが世界初の実用化、「ナノインプリント」技術を活用した半導体露光措置の全容
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# ナノインプリント
半導体マスク欠陥を高感度検出、レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発
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# レーザーテック
国内半導体産業にテコ入れ…ラピダス、海外の先端ノウハウ取り入れ
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# ラピダス
オランダASML「ArF液浸露光装置」が好調、新たな輸出規制の影響は?
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# ＡＳＭＬ
生産能力3割増、AGCが半導体向けEUV露光用部材で新ライン
生産能力3割増、AGCが半導体向けEUV露光用部材で新ライン
# AGC
存在感増すラピダス、2ナノ半導体量産へ打つ布石
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# ラピダス
【ディープテックを追え】「レーザー核融合」実用化へ、国内外から注目されるスタートアップの現在地
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# ディープテック
“日韓半導体”はどう変わった?…輸出管理厳格化の3年半を検証する
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# 半導体製造装置
次世代半導体材の研究開発を加速、三菱ケミカルグループが一手
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# 三菱ケミカルグループ
2022年に注目集めた「半導体・電池」記事5選
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# 半導体
活況の半導体露光…ASML独走を追うキヤノン・ニコン、三者三様の開発戦略
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