半導体ウエハーを15分で全面検査する装置。レーザーテックが製品化

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3D形状測定測定まで1台で対応するコンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置「OPTELICS AI²」

レーザーテックは追従式自動焦点(AF)の連続走査により、3インチウエハーを15分で全面検査できるコンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置「OPTELICS AI²」を製品化した。半導体ウエハーのほかフィルム、ガラス基板などを自動検査し欠陥の分類・解析、3次元(3D)形状測定まで1台で対応する。価格は仕様により消費税抜きで5000万円から。

研究開発部門にとどまらず量産試作品の評価、歩留まり向上に向けたプロセス改善など半導体デバイス開発のスピードアップに貢献する。半導体検査装置で培ってきたソフトウエア技術に高性能マイコンを組み合わせ、高速検査機能と高コントラストのコンフォーカル光学系による高倍率形状測定を両立した。

追従式AFにより化合物半導体やガラス基板など透明な試料でも、裏面反射に影響されずに検査・測定。自動検査ソフトにはディープラーニング(深層学習)に基づく人工知能(AI)機能を組み込んだ。

日刊工業新聞2021年12月23日

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