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露光装置
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「顧客ごとにナノインプリントに対する興味のポイントが違う」(キヤノン執行役員)
# ナノインプリント
キヤノン、半導体露光装置の生産能力を1.5倍へ。攻めに転換
# 半導体露光装置
東芝、キヤノンと共同開発の次世代露光装置を17年度から半導体メモリー量産に導入
# キヤノン
《中堅電子部品メーカーの生きる道#01》日本航空電子&NECトーキン
# 日本航空電子工業
ニコン、回路線幅7nm対応のArF液浸露光装置を発売
# ArF液浸露光装置
「若年層に刺されば、カメラは必ず復活できる」(ニコン社長)
# オプトス
【2016を読む】半導体「レガシー技術」に脚光
# 200ミリメートルウエハー
半導体需要、200ミリウエハーが人気!装置メーカーが新製品を開発へ
# 半導体
東京エレクトロン、米アプライドの統合破断で競合メーカーは胸をなで下ろす!?
# 東京エレクトロン
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