半導体産業では世代の古い「レガシー技術」に注目が集まる。自動車の先進運転支援システム（ＡＤＡＳ）や、モノのインターネット（ＩｏＴ）の普及拡大を背景に、センサーや通信を担うアナログ半導体や、モーターを駆動するパワー半導体が伸びる見通し。

　これらの半導体は必ずしも微細化などの先端技術を必要としない。その一方で、品質の高い製品を仕上げるには熟練技術者のノウハウが必要となり、組み立て技術も差別化のポイントになる。米オン・セミコンダクターが、米フェアチャイルド・セミコンダクター・インターナショナルの買収で同社と合意するなど再編が加速する可能性がある。

　またアナログ半導体やパワー半導体は、多品種少量で生産するケースが多い。先端の３００ミリメートルウエハーではサイズが大きすぎるため、小回りの利く２００ミリメートルウエハーに対する需要が高まる。米ＳＥＭＩによると世界の２００ミリメートルウエハーの月産枚数は１２年は５１０万枚だったが、１８年には７・１％増の５４６万枚に伸びる見通し。

　半導体製造装置メーカーも２００ミリメートルウエハーの需要を取り込もうと新製品開発を活発化させている。「これまで各社は需要回復が本物かどうか見極めていたが、いよいよ本腰を入れ始めた」（ＳＥＭＩジャパンの中村修代表）。

　ニコンは　ＫｒＦ（フッ化クリプトン）エキシマレーザーの露光装置を投入する。１０年以上前に開発した製品と比べ、より細い線幅で回路を描けるようにしたうえで価格は３００ミリメートルウエハー向けより大幅に抑える。

　日立ハイテクノロジーズは、十数年ぶりに２００ミリメートル対応の測長走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）「ＣＳ４８００」を開発し受注を始めた。１５０ミリ、１００ミリメートルのウエハーにも使える。３年後に年２０―３０台の販売を見込む。シンフォニアテクノロジーは子会社を通じて、ウエハー容器のふたを自動で開ける「ポッドオープナー」を投入した。

　また東京エレクトロンは熱処理成膜装置のファーネス（炉）などで、顧客ごとにカスタマイズした２００ミリメートルウエハー対応製品の展開を検討する。