キヤノンは栃木県の半導体露光装置工場の生産能力を年内に２０１４年比１・５倍に引き上げる。投資額は１００億円規模とみられる。モノのインターネット（ＩｏＴ）の普及を背景に同社が手がける光源がｉ線、フッ化クリプトン（ＫｒＦ）の両装置需要は堅調とみて約５年ぶりの大型投資に踏み切る。「ナノインプリント露光」技術を使う次世代装置の量産体制の検討も始めた。苦戦が続いた露光装置事業は、守りから攻めへ転換する。

　キヤノンは宇都宮事業所（宇都宮市）と阿見事業所（茨城県阿見町）で半導体露光装置を製造する。今回は主力の宇都宮事業所の既存工場に新たな機材や治工具を導入する。

　一方、ナノインプリント露光装置は、東芝が１７年度にも稼働させる半導体メモリーの新工場に導入する意向を示している。また韓国・ＳＫハイニックスも同装置の導入に関心を示しており、キヤノンは量産体制を整える検討に入った。宇都宮事業所もしくは阿見事業所に新棟を建設する案を軸に、同社の別の拠点の空きスペースを有効利用する案なども含め幅広く検討する。
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