半導体需要、200ミリウエハーが人気!装置メーカーが新製品を開発へ
IoT時代に大口径の300ミリよりも多品種少量生産に向く
半導体装置メーカー各社が、世代の一つ古い200ミリメートルウエハー向け装置で新製品を投入する動きが相次いでいる。ニコンはウエハーに回路パターンを描く露光装置の新製品の開発を準備、東京エレクトロンは熱処理成膜装置を再投入する方針だ。モノのインターネット(IoT)の普及で、求められる半導体の種類が増加。多品種少量生産に適した200ミリメートルウエハーの需要が高まっている。
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日刊工業新聞2015年12月16日1面