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耐熱性2倍…リンテックがCNTでフォトマスク用防塵カバー開発

2023年12月23日テクノロジー

耐熱性2倍…リンテックがCNTでフォトマスク用防塵カバー開発

ＣＮＴ製ペリクル膜のイメージ（ｉｍｅｃ提供）

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