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原子力機構がシリコン酸化膜の成長メカニズム解明

2022年12月23日テクノロジー

原子力機構がシリコン酸化膜の成長メカニズム解明

大型放射光施設「ＳＰｒｉｎｇ―８」の高輝度放射光を使用

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