村田機械はダミーウエハーなどのテストや開発用途で使われるウエハーの保管装置の本格販売に乗り出す。これまで特定企業などへの一部販売にとどめていたが、このほどメンテナンス体制を整えた。半導体の微細化によって製造工程がより複雑化し、品質管理のために各工程で同ウエハーの保管数が増加傾向にある。メンテナンスしやすく大量保管できる同装置を半導体・ウエハーメーカーや半導体関連装置メーカーの研究向けなどに提案し、初年度に５台、２０２７年度に年間２５台の販売を目指す。

本格販売するベアウエハーストッカー「ＣＤＷＸ」は、半導体製造装置にウエハーを搬入出するロードポート上にある保管・搬送容器（フープ）から、ハンドリングロボットでウエハーを取り出し、村田機械が開発した専用ケースに入れ替えて保管棚に収納する。

専用ケースは１セットにウエハー２５枚を収納可能。ウエハーの間隔は約３・７ミリメートルで、１０ミリメートル間隔で保管するフープと比べて約３分の１の高さで収まる。

クレーンと棚で構成する自動倉庫のような保管部は要望に合わせて増設可能で、最大約２万８２０枚のウエハーを収納できる。同社によるとダミーウエハーや、製造装置の品質をモニターするためのウエハーは、製造工程内のウエハーの３割を超える。そのため、これらウエハーを大量に効率よく一時保管して管理する方法が求められていたという。

専用ケースは装置稼働中でも別の取り出し口から出庫し、専用治具に入れてフープ洗浄機でウエハーに接触する部分を定期的に洗浄でき、メンテナンス性と稼働効率を両立させた。

同社は半導体工場向け搬送システムを主に手がけるが、今回の製品投入をテコに半導体製造プロセスにより近い工程も手がける。