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半導体製造の複雑化に対応、村田機械がダミーウエハー保管装置を本格投入

2023年12月14日 テクノロジー
半導体製造の複雑化に対応、村田機械がダミーウエハー保管装置を本格投入
ベアウエハーストッカー「ＣＤＷＸ」
「ＣＤＷＸ」内部構造
「ＣＤＷＸ」内部構造
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