５２億円増資、ライン新設

フェローテックホールディングス（ＨＤ）は、中国で半導体製造プロセス用の治具消耗材のシリコンパーツを増産する方針を固めた。銀川工場（寧夏回族自治区銀川市）を改装し、新たに製造ラインを整備する。ライン整備後のシリコンパーツの生産量は現状比３０―４０％増を見込む。生産開始時期や投資額は今後詰める。賀賢漢社長は「かねて手がけていた事業が実りだしている。中国の半導体市場活況を受け増産に着手する」とした。

銀川工場は太陽光電池用の多結晶インゴットを製造していたが、同事業から２０２０年３月までに撤退。空きスペースをシリコンパーツ用インゴット生産に充てていた。同パーツの需要増を見込み、シリコンパーツの製造工場として活用することにした。銀川工場に切削加工設備、インゴット製造装置を導入。前工程のインゴット製造と後工程のパーツへの加工のいずれもできるようにする。

投資額は明らかにしていないが、銀川工場を運営する子会社の寧夏富楽徳石英材料が２８日までに第三者割当増資で約５２億円の資金調達を行い、増強資金を賄う。寧夏富楽徳石英材料は中国の株式市場で上場を目指す方針。

シリコンパーツの２０２１年３月期連結売り上げ計画は約２７億円。シリコンウエハーと同素材のため熱膨張率などの特性が同じで悪影響を与えづらく、歩留まりに影響を与える不純物の発生を軽減する。

石英素材より使用寿命が長く加工条件が厳格な環境下に適し、炭化ケイ素（ＳｉＣ）素材より短納期で提供できる。