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次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは？

半導体再興へ－大学の最先端研究＃１１

2024年03月17日テクノロジー

次世代半導体製造に用いるEUV露光の要、阪大教授が30年前に開発した「CLBO結晶」とは？

森教授

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