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半導体装置の洗浄液削減、コフロックが流量制御クリーンバルブを開発

2023年12月13日テクノロジー

半導体装置の洗浄液削減、コフロックが流量制御クリーンバルブを開発

新型流量制御クリーンバルブ「ＫＳＦＶ－１００」

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