奥野製薬工業（大阪市中央区、奥野和義社長）は、半導体ウエハー向けの全自動無電解メッキ装置「トライザＥＬシステム」を開発し、販売を始めた。車載用途などのパワー半導体の電極部分に、ニッケルメッキを施すアンダー・バンプ・メタル（ＵＢＭ）形成用で、膜厚の均一性に優れる。価格は個別見積もり。同社の装置や薬品によるＵＢＭ形成では、４００度Ｃの熱処理後でも皮膜がひび割れにくく、接合信頼性を確保できる。

６、８、１２インチのウエハーに対応する。ウエハーを２５枚納めるバケットを２列備え、一度に５０枚を加工可能。月産１万枚以上を見込む。装置の寸法は幅約３×長さ約１３×高さ約２・５メートル。

自動で開閉するふたを搭載し、薬液に不純物が混入するのを防ぐほか、高温を保つこともできる。クリーンルームの清浄度はクラス１０００に対応する。

奥野製薬工業はメッキ薬品・表面処理薬品などを手がける。装飾用途に強みを持つが、近年は環境負荷の軽減などを背景に需要が減っており、半導体分野の強化を急ぐ。

同社の西城信吾執行役員はトライザＥＬシステムを「薬品メーカーの視点が入った装置」と説明し、薬品の性能を最大限に発揮できるよう工夫したとする。各種薬品と装置、プロセスの組み合わせで訴求力を高める狙い。今後は電解メッキ装置の開発によるラインアップ拡充も検討する。