シリコンテクノロジー（長野県佐久市、滝崎博明社長）は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）向けに平坦度１マイクロメートル以下（マイクロは１００万分の１）の超高平坦の小口径シリコンウエハーを事業化した。通信機器や車載センサー用途でのＭＥＭＳ需要増加に対応する。量産を始めた１マイクロメートル品に続き、より高精度なＭＥＭＳに対応する同０・５マイクロメートル品の量産技術を確立した。今後、同０・３マイクロメートルまで平坦化を進める。

シリコンテクノロジー（長野県佐久市、滝崎博明社長）は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）向けに平坦度０・５マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）の小口径シリコンウエハーの量産技術を確立した。高精度なＭＥＭＳニーズに対応し、顧客の加工工程削減にもつなげる。すでに同１マイクロメートル品の量産を開始しており、順次平坦度を高め、今後は同０・３マイクロメートル品の量産を目指す。　シリコンテクノロジーはＭＥＭＳに用いられる酸化膜上にシリコン単結晶層を形成したＳＯＩウエハーの支持基板として平坦度１マイクロメートル以下の超高平坦ウエハーを供給する。超高平坦品は８、１２インチウエハーにはあったが、４―６インチの小口径ウエハーに技術を適用することは難しかった。

同社はウエハー厚を高精度にモニタリングしながら表面を研削する装置を４月に導入し、独自に技術を構築した。小口径用グラインダーは半導体後工程で使われており、ウエハー製造で使っているのは同社のみという。

高精度なＭＥＭＳセンサー市場の拡大で、超高平坦ウエハーのニーズが増えるとみて供給を開始した。ウエハーの厚みのバラつきはセンサー感度に影響する。これまで顧客がウエハー購入後に平坦化加工を行っており、超高平坦ウエハーの供給は顧客の生産性向上にも役立つ。

需要増加に対応するため、通常品を含む４―６インチウエハー合計の生産能力を従来の月産１２万―１３万枚から同１５万枚に高めた。増員や工程改善により実現した。１―２年内に同２万枚の上乗せを図る。

シリコンテクノロジーはカーリットホールディングスのグループ会社。シリコン単結晶インゴットの引き上げからウエハー加工まで一貫生産している。超高平坦ウエハーのほかにも、ニーズに合わせて多様な製品を供給している。