島津製作所の「誰でも使える」走査型プローブ顕微鏡、何に使う?

高分子材や二次電池材などの評価・研究を効率化

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島津製作所は、高分子材料や二次電池の材料、半導体製造用研磨剤などの評価・研究用途を主なターゲットに、走査型プローブ顕微鏡「SPM―Nanoa=写真」を発売した。「誰でも使える」をコンセプトに、専門知識が必要な光軸調整や観察条件設定といった工程を自動化し、企業や研究機関などの先端材料開発を支援する。消費税抜きの価格は2100万円。販売目標は年50台。

新製品はボリュームゾーンの中級機の位置付けで、画像認識技術向上やアルゴリズム刷新などで自動化を推進し、差別化した。同社の最上位機種の検出光学機構を採用して、高感度で低ノイズの信号検出を実現。材料の観察準備からデータ取得までの時間が、手作業主体の機種と比べ6分の1以下の5分で完了するという。

走査型プローブ顕微鏡は先端が10ナノメートル(ナノは10億分の1)ほどの探針を用い、試料表面の3次元形状や物性情報を取得する。電子顕微鏡などと原理が違い、高分解能でかつ大気中や溶液中の観察も可能。島津の世界シェアは約5%。今回の中級機投入で3年以内をめどに同10%を狙う。

日刊工業新聞2021年2月18日

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