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「パワー半導体」量産に提案…名大、プラズマ活用でGaN高速成長

2024年06月02日テクノロジー

「パワー半導体」量産に提案…名大、プラズマ活用でGaN高速成長

開発したＧａＮの低温成長法の概略図（名古屋大学提供）

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