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7ー9月の世界半導体装置出荷額、143億ドルで過去最高更新
「小口径の装置は部品も含めて枯渇している」（ＳＥＭＩジャパン代表）
2017年12月10日
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東京エレクトロンの生産現場（同社提供）
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