ＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ）は半導体ウエハーやプリント基板の検査工程向けに、人工知能（ＡＩ）検査ソフトウエアの新ブランド「ＳＣＲＡＩＳ（スクライズ）」を立ち上げ、６月に発売する。同社が手がける検査装置向けで、高い検査精度と、虚報と呼ばれる欠陥の誤検出の少なさが特徴。発売までに、顧客導入目標として欠陥見逃し率０・１％以下、虚報削減率８０％以上まで高める。

スクライズは同社が従来手がけていた「ＡＩによる虚報フィルタリングシステム」の後継版。製品化に向け、ＡＩによる自動欠陥分類への深層学習の適用など開発を加速する。

半導体ウエハーなどの検査工程では、人による目視検査からＡＩを使った検査システムへの移行が進んでいる。一方、同システムの欠陥見逃しによる工数増加や虚報の影響による歩留まり率低下が導入の課題となっている。