SCREENが100億円投資、半導体装置の新工場が稼働した
SCREENホールディングス(HD)は彦根事業所(滋賀県彦根市)の敷地内に整備中だった、半導体製造装置の新工場「Sキューブ4」を竣工し稼働した。地上2階建てで、延べ床面積は約9625平方メートル。総工費約100億円を投じた。
新工場は同じ敷地内にある枚葉式洗浄装置の主力工場「Sキューブ3」と連結しており、Sキューブ3で生産された装置やユニットの出荷前洗浄工程などを担う。生産から出荷までの流れを円滑にし、生産効率を従来より高めた。
同社は半導体製造装置市場が長期的に拡大すると見て、同じ敷地内で24年1月稼働を目指す半導体製造装置工場も月内に着工する。
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日刊工業新聞2023年2月6日