JDIと出光興産が開発、新たな「多結晶酸化物半導体」の実力

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出光興産とジャパンディスプレイ(JDI)は、ディスプレーの高性能化や低コスト化に貢献する新たな多結晶酸化物半導体「Poly―OS」を開発した。酸化物半導体の特性を生かしつつ、高移動度と低オフリーク電流を両立した。ウエアラブルデバイス、スマートフォン、大型テレビ向けなど多様なディスプレーに適用できる。

既存の酸化物半導体を用いたトランジスタは、大面積での製造が容易で低消費電力化が可能な一方、現在の中小型ディスプレーで主に用いられている低温ポリシリコン(LTPS)と比較すると移動度が低いことが課題だった。

Poly―OSは、出光興産の多結晶酸化物半導体材料と、JDIのバックプレーン技術を活用し実用化に成功。JDIの茂原工場(千葉県茂原市)の第6世代量産ラインでは、従来比4倍の電界効果移動度を達成し、第8世代以上のラインにも適用可能という。

日刊工業新聞2022年6月22日

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