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三菱電機「電力制御用パワー半導体」量産、福山工場の全容

三菱電機「電力制御用パワー半導体」量産、福山工場の全容

パワー半導体の量産を始めた福山工場(三菱電機提供)

三菱電機は福山工場(広島県福山市)で電力制御用パワー半導体の量産を始めた。2020年にシャープから買い取った工場の建屋を活用し、21年11月に8インチウエハー対応ラインの試験稼働を始めていた。自動車の電動化や工場の自動化、再生可能エネルギー設備向けなどパワー半導体需要は拡大している。福山工場は24年度に12インチラインの稼働も予定。三菱電機全体のウエハー製造(前工程)能力を25年度に20年度比約2倍に増やす計画だ。

福山工場での量産は4月に入ってから始めた。工場は延べ床面積が約4万6500平方メートルの3階建て。パワー半導体製造の前工程であるウエハープロセス工程を担う。三菱電機のパワー半導体前工程は従来、熊本県合志市の拠点が中心で、福山工場が新たに加わった。

福山工場は24年度にウエハーサイズが大きく生産効率の高い12インチウエハー対応ラインも稼働する計画。新工場の総投資額は約200億円を見込んでいる。

三菱電機はパワー半導体事業で、21―25年度の現中期経営計画期間に、前中計実績比300億円増となる約1300億円の設備投資を計画している。組み立て・検査など後工程にも投資して拡大する需要に備える考え。


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日刊工業新聞2022年4月13日

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