半導体装置向け真空ポンプの生産能力4割増、島津製作所が決断した背景

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島津がシェア4割を握るターボ分子ポンプ。半導体製造装置向けに需要が拡大している

島津製作所はターボ分子ポンプ(TMP)の生産能力を2022年10月をめどに現状比約4割引き上げる。半導体製造装置向けの需要急増に対応し、シェア拡大も狙う。投資額は50億円前後。京都の既存拠点で増産するほか、神奈川の拠点でも新たに生産を始める。

TMPは容器内から気体を排出するポンプで真空を得る用途に使われる。半導体製造装置の基幹部品の一つ。半導体や薄型ディスプレー製造プロセス向けなどを中心に幅広い分野で使われる。島津は世界シェアの4割以上を握り、早期に5割に高める方針だ。

同社は現在、三条工場(京都市中京区)でTMPを生産する。大手半導体製造装置メーカーの生産計画に合わせて、生産能力を順次引き上げる。

加えて、秦野工場(神奈川県秦野市)でも新たにTMPの生産を始める。分析装置の用途開発などを担う部署が22年に同工場から川崎市に移転するため、そのスペースを転用してTMPの生産設備を導入する。

「中国、米国、韓国向けを中心に増加する需要に対応する」(上田輝久島津製作所社長)。TMPを含む産業機器セグメントの22年3月期業績予想は、前期比19%増の売上高535億円を見込む。

日刊工業新聞2021年12月21日

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