島津製作所はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）の生産能力を２０２２年１０月をめどに現状比約４割引き上げる。半導体製造装置向けの需要急増に対応し、シェア拡大も狙う。投資額は５０億円前後。京都の既存拠点で増産するほか、神奈川の拠点でも新たに生産を始める。

ＴＭＰは容器内から気体を排出するポンプで真空を得る用途に使われる。半導体製造装置の基幹部品の一つ。半導体や薄型ディスプレー製造プロセス向けなどを中心に幅広い分野で使われる。島津は世界シェアの４割以上を握り、早期に５割に高める方針だ。

同社は現在、三条工場（京都市中京区）でＴＭＰを生産する。大手半導体製造装置メーカーの生産計画に合わせて、生産能力を順次引き上げる。

加えて、秦野工場（神奈川県秦野市）でも新たにＴＭＰの生産を始める。分析装置の用途開発などを担う部署が２２年に同工場から川崎市に移転するため、そのスペースを転用してＴＭＰの生産設備を導入する。

「中国、米国、韓国向けを中心に増加する需要に対応する」（上田輝久島津製作所社長）。ＴＭＰを含む産業機器セグメントの２２年３月期業績予想は、前期比１９％増の売上高５３５億円を見込む。