ＴＨＫは半導体の製造工程などで利用する直動製品「超精密ＬＭガイド」の生産量を大幅に引き上げた。同ガイドを製造する山口工場（山口県山陽小野田市）で増産体制を構築した。夜間の操業に対応するためロボットによる自動化を推進。自動車の電動化や第５世代通信（５Ｇ）の普及などで半導体市場が活況な中、精密直動製品の需要増に応える。

ＴＨＫの高精度位置決めが可能なＬＭガイドは、ウエハーを切断するダイシングやチップとフレームを結ぶワイヤボンディングなどの後工程だけでなく、フォトマスク作製、インゴットの引き抜き、パターン形成などの前工程でも幅広く活用される。

一般的なＬＭガイドはレールの溝が左右に２条ずつあるが、超精密ＬＭガイドの「ＳＰＲ／ＳＰＳ」は２倍の８条構成。多数のボールを並べるほど剛性と精度が向上する。ウエハーが移動しながら検査などの工程を通過できる。同社ではエアスライドなどの静圧機器からＬＭガイドへの移行を顧客に提案する。

山口工場では昼間だけでなく夜間も生産できるよう、カワダロボティクス（東京都台東区）の双腕ロボット「ネクステージ」などを導入した。機械装置もリニューアルを推し進めている。

超精密ＬＭガイドを含むＴＨＫの産業機器事業の２０２１年１２月期の売上高（国際会計基準）は、前期比３７・７％増の１９８５億円を予想する。コロナ禍前の１９年１２月期の１７７８億円を上回る見通しで、半導体関連需要を着実に取り込む。