東京エレクトロンは２５日、製造子会社の東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ穂坂事業所（山梨県韮崎市）に開発棟を建設すると発表した。建設費用は約１１０億円。半導体市場の需要拡大に対応し、開発体制を強化する。９月に着工、２０２３年春の完成を予定している。

新開発棟は、地上４階、地下１階建て。延べ床面積約２万２０００平方メートル。成膜装置、ガスケミカルエッチング装置といった半導体製造装置のほか、半導体回路の微細化に重要な「パターニング技術」などの開発も行う。

第５世代通信（５Ｇ）の普及や人工知能（ＡＩ）、ＩｏＴ（モノのインターネット）の進展などに伴い、半導体市場は拡大が見込まれている。