ダイヤモンド結晶、クラックなしで1立方cmに成長

産業技術総合研究所が成功

 産業技術総合研究所先進パワーエレクトロニクス研究センターの山田英明主任研究員と竹内大輔総括研究主幹らは、ダイヤモンドの結晶をクラックを発生させずに1立方センチメートルサイズまで成長させることに成功した。ダイヤモンド大型ウエハーの製造につながる。パワー半導体やスピントロニクスデバイスなどへの応用が開ける。

 原料ガスを供給してプラズマで分解し、炭素原子を規則的に並べて結晶を成長させた。従来は1ミリメートルに満たない膜厚でクラックが入ってしまったが、今回2ミリ―5ミリメートルまでクラックが入らずに結晶が成長する。この結晶を種結晶としてダイヤモンドのウエハーを製造できるようになる。内閣府の戦略的イノベーション創造プログラム(SIP)として実施した。

日刊工業新聞2019年4月12日

  

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