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原子層堆積法
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2.5次元の電子・光デバイス実現へ、高知工科大など、アモルファス金属酸化物薄膜を生成
# 高知工科大学
粉体へのALDコーティング技術をもつベンチャーに住商が出資
# スタートアップ
「指数関数的に半導体需要が膨らむ。装置市場の見通しは明るい」
# 半導体需要
半導体業界の変化をポジティブに捉える東京エレクトロン。勝算は?
# 東京エレクトロン
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