スマートフォンの大容量化やＩｏＴ（モノのインターネット）の普及を受け、半導体市場が活況を呈している。一方で微細化の速度は鈍化し、３次元（３Ｄ）構造や新素材の活用など新たな潮流も生まれている。半導体製造装置メーカーは、過渡期を迎えた市場をどう攻略するのか。東京エレクトロンの河合利樹社長兼最高経営責任者（ＣＥＯ）に聞いた。

　―中国事業が伸びています。
　「売上高は２０１５年１０月―１６年３月期に比べ６０％増となった。中国市場は投資が活発化しており、事業が加速するだろう。先端装置に加え、崑山の工場で中古装置の再生ビジネスやサービスの拡充を図って、需要を取り込む。課題は広い国土をどうカバーするか。工場の稼働計画の進捗（しんちょく）を見極めながら、保守サービス体制を構築したい」

　―市場の見通しは。
　「１７年はもちろん、中国市場が本格的に拡大する１８年にかけて、見通しは明るい。中長期についてもＩｏＴの普及により、確実に伸びる。右肩上がりと言うよりも、指数関数的に半導体需要が膨らむ可能性もある」

　―技術の展望を教えてください。
　「微細化が進む速度は鈍化したが、新材料や新構造などの技術革新は止まらない。従来は個別装置の性能が重視されたが（現在は）求められる技術レベルが上がり、総合的に提案できることが大切になっている。製品や部門に横串を通すような提案をすべく、すでに開発部門の一元化や再編を実施した。次世代デバイスに対して包括的に提案する体制が整ってきた」

　―注力分野は。
　「ＡＬＤ（原子層堆積法）成膜と、エッチングだ。幅広いラインアップを抱えるのが我々の強みで、包括的に提案できるメーカーは多くない。求められる技術が高度になればなるほど、ビジネスチャンスは広がる」

　―他社との協業やＭ＆Ａ（合併・買収）の考え方は。
　「産学連携などのコンソーシアムを活用したい。特に材料分野に注目している。１９年度までの中期経営計画にＭ＆Ａの方針は盛り込んでいないが、それを否定するものでもない。投資回収やシナジー、ステークホルダーへのメリットが見込めれば考える」

　―業界再編をどう見ていますか。
　「大きな統合は一服したかもしれないが、潜在性は大きい。（成長の加速という）良い意味で起こる可能性はある」
（聞き手＝政年佐貴恵）