ＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ）は、富山県高岡市で建設を進めていた半導体製造装置の部品工場が完成したと発表した。総工費は５５億円。

同社は中長期での同装置需要の拡大に対応するため、国内で同装置の生産能力増強を進めている。高岡事業所の開設を含む一連の計画で、同生産能力を現状比２割高める。

新工場「高岡事業所」は同社が世界シェア首位の枚葉式洗浄装置で使われる薬液供給キャビネットの専用工場。キャビネットの組み立てから検査までを一貫で行う。同事業所は２階建てで、延べ床面積は約７９５２平方メートル。