レーザーテックは追従式自動焦点（ＡＦ）の連続走査により、３インチウエハーを１５分で全面検査できるコンフォーカル顕微鏡自動検査／レビュー装置「ＯＰＴＥＬＩＣＳ　ＡＩ²」を製品化した。半導体ウエハーのほかフィルム、ガラス基板などを自動検査し欠陥の分類・解析、３次元（３Ｄ）形状測定まで１台で対応する。価格は仕様により消費税抜きで５０００万円から。

研究開発部門にとどまらず量産試作品の評価、歩留まり向上に向けたプロセス改善など半導体デバイス開発のスピードアップに貢献する。半導体検査装置で培ってきたソフトウエア技術に高性能マイコンを組み合わせ、高速検査機能と高コントラストのコンフォーカル光学系による高倍率形状測定を両立した。

追従式ＡＦにより化合物半導体やガラス基板など透明な試料でも、裏面反射に影響されずに検査・測定。自動検査ソフトにはディープラーニング（深層学習）に基づく人工知能（ＡＩ）機能を組み込んだ。