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半導体ウエハーを15分で全面検査する装置。レーザーテックが製品化

2022年01月04日 テクノロジー
半導体ウエハーを15分で全面検査する装置。レーザーテックが製品化
３Ｄ形状測定測定まで１台で対応するコンフォーカル顕微鏡自動検査／レビュー装置「ＯＰＴＥＬＩＣＳ　ＡＩ²」
  • 半導体ウエハーを15分で全面検査する装置。レーザーテックが製品化
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