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ＳｉＣパワー半導体「垂直統合」にカジ、東芝が生かす技術

エピウエハー内製化

2022年03月16日ビジネス・経済

ＳｉＣパワー半導体「垂直統合」にカジ、東芝が生かす技術

東芝傘下のニューフレアテクノロジーのＳｉＣエピタキシャル成長装置

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