成膜速度100倍、太陽電池向けに東レが開発したスゴい超ハイバリアフィルムの性能

  • 1
  • 17

東レは超ハイバリアフィルム(写真)を開発した。高密度に蒸着可能な複合化合物膜の技術を高速蒸着技術に適用することで、一般的なスパッタ法に比べて成膜速度が100倍超に向上し、コストを5分の1以下に抑えた。成長が見込まれるフレキシブルデバイスや太陽電池の封止など向けに投入する。2023年に量産化を実現し、25年に10億円、30年に30億円の売り上げを目指す。

水分から保護するための封止・保護では従来、高密度な薄膜を形成できるスパッタ法やCVD法(化学気相成長法)で作製した超ハイバリアフィルムを使用するが、成膜速度が遅く高コストが課題だった。また、従来の蒸着技術は成膜速度に優れ低コストだが、バリア(封止)性能には限界があり、用途が食品包装用向けなどに限定されている。

今回開発したフィルムは独自の膜設計と膜形成技術により、成膜速度を向上しコストも大幅に引き下げた。透明性や柔軟性にも優れている。まず需要拡大が見込まれ低コスト化が求められる各種フレキシブルデバイスや薄膜太陽電池に照準を合わせる。

日刊工業新聞2022年4月28日

関連する記事はこちら

特集

このサイトでは、アクセス状況の把握や広告配信などのためにクッキー(Cookie)を使用しています。オプトアウトを含むクッキーの設定や使用の詳細についてはプライバシーポリシーページをご覧ください。

閉じる