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東芝、キヤノンと共同開発の次世代露光装置を17年度から半導体メモリー量産に導入

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# キヤノン

ニコン、回路線幅7nm対応のArF液浸露光装置を発売

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# ArF液浸露光装置

半導体需要、200ミリウエハーが人気!装置メーカーが新製品を開発へ

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# 半導体

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