東京農工大学の熊谷義直教授らは大陽日酸と共同で、次世代パワー半導体向け材料として期待される高純度のβ型酸化ガリウム結晶の高速成長を、有機金属気相エピタキシャル成長（ＭＯＶＰＥ）法で実現した。省エネルギー社会の実現に向けβ型酸化ガリウムパワー半導体の量産技術の実用化が期待される。

独自の結晶成長炉内の反応解析結果に基づき、不純物である炭素の混入がない高純度なβ型酸化ガリウム結晶を高速で成長できることを実証した。ＭＯＶＰＥ法による同結晶の成長は、ガリウムの有機金属化合物と酸素の激しい反応性や、炭素、水素不純物の汚染に対する懸念などから、これまでほとんど検討されていなかった。

今回稼働したＭＯＶＰＥ装置（写真）は最大２インチ径のウエハーに対応した。今後、意図的に不純物を添加した混晶成長技術の検討を進め、β型酸化ガリウムパワー半導体の実用化に貢献することを目指す。