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化合物半導体を縦型集積、3次元コンピューター目指す

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次世代パワーデバイスに応用…名大と旭化成、窒化アルミのpn接合ダイオード作製

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次世代パワー半導体向け材料で期待…「β型酸化ガリウム結晶」の高速成長を実現した

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