「きぼう」で世界初、次世代パワー半導体材料の融液物性測定にAGCが成功した

  • 1
  • 13
国際宇宙ステーション

AGCは、国際宇宙ステーション「きぼう」日本実験棟で、次世代パワー半導体材料の酸化ガリウムの融液物性測定に世界で初めて成功した。融液物性値を用いて単結晶製造時の数値シミュレーションを行うことで、酸化ガリウム基板の大口径化や高品質化につなげ、実用化を加速させる。酸化ガリウム技術でリードするノベルクリスタルテクノロジー(埼玉県狭山市)との共同研究に生かす。

酸化ガリウムは融点が約1800度Cと高く、溶融させると容器の不純物が溶けて混入し、融液物性値の測定が困難だった。今回、宇宙航空研究開発機構(JAXA)の持つ、るつぼを使わない静電浮遊炉を用いた。同炉は、微小重力状態で試料を浮遊させ、レーザーで試料を溶融させる。幅広い温度域での融液密度に加え、粘性係数や表面張力などの融液物性値の取得に成功した。

酸化ガリウムはシリコンに比べ電力損失が少なく、高電圧・大電流で使用できる可能性がある。また大気圧下で結晶成長でき、他の次世代パワー半導体材料に比べコスト低減も期待される。

日刊工業新聞2022年4月1日

関連する記事はこちら

特集

このサイトでは、アクセス状況の把握や広告配信などのためにクッキー(Cookie)を使用しています。オプトアウトを含むクッキーの設定や使用の詳細についてはプライバシーポリシーページをご覧ください。

閉じる