キヤノンは１２月までに半導体露光装置の生産能力を現在比２０―３０％程度引き上げる。半導体市場が拡大期に差し掛かっているとみて能力増強する。新たな生産技術の導入やリードタイムの短縮など生産効率の向上で対応する。半導体露光装置を含む産業機器事業で、２０２０年１２月期に前期比１２・３％増の８２９０億円の売り上げを目指す。

２０年下期以降に第５世代通信（５Ｇ）やＩｏＴ（モノのインターネット）需要などにより半導体市場が成長期に入り、２１年にかけて市場が良いムードになると判断。市場の動向を見ながら、半導体露光装置を生産する主力の宇都宮光学機器事業所（宇都宮市）や阿見事業所（茨城県阿見町）で導入する生産技術など具体的な内容を詰める。また、異物混入を防いだ環境下で装置の加工や組み立てをするクリーンルームの増設も視野に入れている。

半導体露光装置は、半導体の回路形成工程で使用される装置。半導体の回路原版に光照射し、縮小投影レンズを通じてウエハーへ投影。補正をしながら、回路をウエハーに転写する。キヤノンは光源に水銀灯を使用するｉ線露光装置と、フッ化クリプトンを使用するＫｒＦ露光装置の計２種を展開。２種の露光装置のほか、さらなる微細化を目指したＮＩＬ（ナノインプリント）装置の開発を進めている。

現在展開している２種の装置のうち、ｉ線露光装置が主力。ｉ線露光装置は小型基板向けの新製品を２月に投入しており、車載や５Ｇ向けの微細な半導体の露光用途に販売強化している。今後ｉ線露光装置の生産増強が中心になるが、ＫｒＦ露光装置についてもシェアを拡大したい考え。２０年１２月期に半導体露光装置全体で前期比１・５倍の１３４台の販売を見込む。