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ドライ真空ポンプ
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世界シェア2位「CMP」など高受注…荏原、半導体装置が好調な要因
# 荏原
半導体需要を狙え、真空機器メーカーがアピールする最新技術
# 半導体
荏原が韓国にドライ真空ポンプのオーバーホール新工場、半導体最大手の増産投資を想定
荏原がドライ真空ポンプで新工場、半導体受託製造大手への供給能力高める
# 荏原
半導体製造装置の生産能力1.5倍に、荏原が稼働する新棟の全容
# 荏原
まだまだ半導体は微細化する!荏原が新しい研磨装置を開発へ
# 荏原
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