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半導体需要を狙え、真空機器メーカーがアピールする最新技術

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# 半導体

単結晶に近い窒化アルミをステンレスに成膜、ユーパテンターが装置開発

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# ユーパテンター

【ディープテックを追え】半導体「エピタキシャル成長」にイノベーションを起こす!東大発スタートアップの「中間膜」って何?

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# ディープテック

日本の半導体装置の投資額、6割増の100億ドルに

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# スパッタリング装置

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