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# 東レエンジニアリング
# 半導体検査装置
速度10倍以上へ、東レエンジが電子顕微鏡を用いた2ナノ半導体検査装置
2023年08月11日
テクノロジー
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研究開発段階でフォトマスクの調整などに採用されている電子線式半導体ウエハーパターン検査装置「NGR」
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