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気体流量10ミリ秒で切り替え…東大が半導体製造装置などに提案、「高速バルブ制御技術」の効果

2024年12月19日テクノロジー

気体流量10ミリ秒で切り替え…東大が半導体製造装置などに提案、「高速バルブ制御技術」の効果

圧縮性相殺バルブ。弁体を高速制御して空気の振動を打ち消す

圧縮性相殺バブルの仕組み

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