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3D半導体に対応…日立ハイテク、開発に着手した新検査装置の中身

2024年07月17日 テクノロジー
3D半導体に対応…日立ハイテク、開発に着手した新検査装置の中身
日立ハイテクは最先端半導体をインライン計測できる装置を開発する（最先端半導体を生産するラピダスの工場イメージ〈ラピダスのプロジェクト紹介資料から、鹿島協力〉）
※自社作成
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