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単結晶に近い窒化アルミをステンレスに成膜、ユーパテンターが装置開発

2023年11月22日 ビジネス・経済
単結晶に近い窒化アルミをステンレスに成膜、ユーパテンターが装置開発
半導体材料や装置を基礎研究する大手企業の研究室や大学など研究機関に販売
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