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世界初、常温での成膜技術を生かした半導体装置の全容

明電NPIが受注開始
2022年03月07日 テクノロジー
世界初、常温での成膜技術を生かした半導体装置の全容
明電ナノプロセス・イノベーションの「バッチ式常温ＰＯ－ＡＬＤ成膜装置」
  • 世界初、常温での成膜技術を生かした半導体装置の全容
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