SCREENが中古半導体洗浄装置の販売に参入、製造の知見を活かし海外需要にも対応

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彦根事業所の半導体製造装置工場

SCREENホールディングス(HD)は半導体洗浄装置の中古機販売事業に参入する。感光液をガラス基板上に均一に塗布し現像する装置「コーターデベロッパー」などの中古機はすでに販売してきたが、主力の洗浄装置まで取り扱い領域を広げる。半導体製造装置事業の一層の収益力強化に向け、中古機販売や保守サービスなどのポストセールス事業の売上高比率を2024年3月期に25%以上(現状約20%)に引き上げる。

半導体洗浄装置の中古機販売では、自社のユーザーから、減価償却が終わった装置や閉鎖した工場などから装置を買い取り、整備して販売する。世代の古い洗浄装置を安価に導入したいという顧客ニーズに対応する。洗浄装置は多くの薬液などを使用するため、使用後の整備に手間がかかり、中古機販売の技術的難易度が高かった。

SCREENHDは先端洗浄装置でトップシェアを握る。製造の知見を生かし、中古機事業に乗り出す。国内のほか中国など海外にも需要があるという。

最先端の半導体製造では、回路線幅5ナノメートル(ナノは10億分の1)と微細だが、センサー向けなど微細化がそれほど求められない半導体では「世代の古い洗浄装置でも安価なものが欲しいという話がある」(広江敏朗社長最高経営責任者〈CEO〉)という。

また、同社では海外の販売子会社のポストセールス事業を束ね、収益性改善を進める専任組織をこのほど設置するなど、同事業の強化を進めている。

日刊工業新聞2020年10月7日

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