ＩｏＴ（モノのインターネット）や人工知能（ＡＩ）の普及に伴い、半導体製造に使う装置や部材の需要が増加する中、半導体製造装置・部材メーカーもＩｏＴやＡＩを駆使して生産や顧客サポート体制を強化している。大日本印刷は半導体製造に使う部材の生産をＡＩで効率化する。キヤノンは顧客サポートでのＡＩ活用を始めた。ウシオ電機は装置の故障防止や機能改善などにＡＩを導入する。

　大日本印刷は回路を半導体ウエハーに転写する際の原版「フォトマスク」の生産現場でＡＩの活用を２０１８年から本格化する。フォトマスクの製造装置の稼働状況などをＩｏＴセンサーで取得する。取得した情報はＡＩで解析し、故障の予知保全や装置のメンテナンス間隔の延長につなげる。

　装置のメンテナンスは数週間から数カ月に１回程度、定期的に実施しているが、メンテナンスに数日かかるものもあるという。ＡＩで効果的なメンテナンス間隔を装置ごとに算出できれば、生産性向上につながる。

　１７年にフォトマスクの生産に使う主要装置の２割を対象にＡＩを導入し、突発故障の削減や定期メンテナンス間隔の延長を実現した。異物の数が減るといった品質向上にも効果があったことから、１８年から対象となる装置を５割以上に広げてモニタリングする。

　キヤノンは半導体露光装置のフィールドサポートでＡＩの活用を始めた。今後は電話で現場の顧客に対して適切なガイダンスをしたり、サービス部門が顧客の拠点で行うべきサポート内容などについて、効率よく最適な解を導けるシステム構築を目指す。

　ウシオ電機は、半導体露光装置の稼働率を維持・向上するために２―３年以内にＡＩを導入する。顧客との契約に基づき、半導体露光装置に搭載したセンサーで装置の異常などの情報を取得する。取得したデータは、故障を未然に防ぐことのほか、装置の機能改善などに役立てられる。